【導(dǎo)讀】10月12日，2026集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇在上海隆重舉行，論壇同期揭曉了備受矚目的工博會(huì)·國芯展“創(chuàng)新成果獎(jiǎng)”。概倫電子自主研發(fā)的FS800器件參數(shù)分析儀，憑借突破性的底層技術(shù)創(chuàng)新與卓越的產(chǎn)業(yè)賦能價(jià)值，從眾多頂尖參評(píng)項(xiàng)目中脫穎而出，成功斬獲CIIF國芯展“創(chuàng)新成果獎(jiǎng)”。
隨著新材料、新工藝、新結(jié)構(gòu)的不斷發(fā)展，新型半導(dǎo)體器件的研發(fā)正面臨著物理尺度更小、功率密度更高、失效機(jī)制更復(fù)雜等嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。精準(zhǔn)獲取電學(xué)特性與動(dòng)態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù)，已成為驗(yàn)證物理機(jī)制、優(yōu)化工藝配方、評(píng)估可靠性的重要基礎(chǔ)。這不僅要求量測設(shè)備具備極致的精度與可靠性，更對(duì)其測試吞吐率、全場景覆蓋及復(fù)雜工況適配性提出了嚴(yán)苛挑戰(zhàn)。高端電性參數(shù)量測設(shè)備作為探究半導(dǎo)體底層物理特性的核心工具，其性能突破與效率躍升正成為支撐先進(jìn)工藝演進(jìn)與新型器件創(chuàng)新的關(guān)鍵技術(shù)基石。
作為國內(nèi)首家EDA上市公司，關(guān)鍵核心技術(shù)具備國際市場競爭力的EDA領(lǐng)軍企業(yè)，概倫電子長期秉承DTCO工藝設(shè)計(jì)協(xié)同優(yōu)化方法學(xué)體系，立足產(chǎn)業(yè)真實(shí)應(yīng)用需求牽引技術(shù)迭代，打造“測試-建模-仿真-驗(yàn)證-工藝設(shè)計(jì)套件”全鏈路產(chǎn)品能力，為先進(jìn)工藝研發(fā)與芯片設(shè)計(jì)提供差異化、定制化的全流程解決方案。
數(shù)據(jù)是EDA技術(shù)迭代演進(jìn)的核心支撐，是AI時(shí)代半導(dǎo)體創(chuàng)新的重要基礎(chǔ)，有力賦能數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的EDA流程落地。作為獲取高質(zhì)量底層數(shù)據(jù)的核心利器，F(xiàn)S800器件參數(shù)分析儀是概倫電子面向前沿研究與先進(jìn)工藝表征打造的新一代半導(dǎo)體電學(xué)特性分析設(shè)備，高性能、高效率且靈活可擴(kuò)展。該產(chǎn)品在單機(jī)內(nèi)集成了電流電壓（IV）測試、電容電壓（CV）測試、快速波形發(fā)生與測試以及高速時(shí)域信號(hào)采集等能力，可為各類測試應(yīng)用需求提供精準(zhǔn)、全面的數(shù)據(jù)支撐。
靈活架構(gòu)
適配多元應(yīng)用高效測試需求
FS800采用概倫電子自主研發(fā)的模塊化混合架構(gòu)與高速數(shù)據(jù)總線設(shè)計(jì)，可按需彈性配置高精度SMU、低漏電矩陣與高速波形發(fā)生器模塊，單機(jī)最多支持24個(gè)SMU或擴(kuò)展至132通道低漏電矩陣等，在單臺(tái)臺(tái)式設(shè)備中即可實(shí)現(xiàn)單器件精細(xì)測試到WAT晶圓級(jí)自動(dòng)化電性參數(shù)表征，大幅提升測試效率并加速應(yīng)用驗(yàn)證進(jìn)程。
精準(zhǔn)測量
兼顧穩(wěn)態(tài)與瞬態(tài)表征
搭載自研高精度SMU模塊FS810，F(xiàn)S800具備寬量程與最高0.1fA的電流分辨率，測量精度達(dá)15fA，能在復(fù)雜工況下精準(zhǔn)表征新型器件的微弱信號(hào)。同時(shí)，其瞬態(tài)采樣率高達(dá)1.5 MS/s，最小脈寬達(dá)130ns，任意波形發(fā)生采樣率達(dá)100 MS/s，各項(xiàng)指標(biāo)國際領(lǐng)先水平，不僅能從容應(yīng)對(duì)先進(jìn)工藝的嚴(yán)苛參數(shù)提取，更能實(shí)時(shí)捕新型存儲(chǔ)器等前沿器件的高速電導(dǎo)演化，提供高置信度的數(shù)據(jù)支撐。
智能化數(shù)據(jù)管理與分析
提升測試效率與易用性
FS800搭載的LabExpress測試軟件提供直觀的圖形化界面與豐富的測試算法庫，用戶不僅無需編程即可高效完成各類測試任務(wù)，還可通過內(nèi)置腳本編程平臺(tái)靈活定制復(fù)雜測試應(yīng)用與批量任務(wù)，滿足個(gè)性化實(shí)驗(yàn)需求；同時(shí)，LabExpress在業(yè)內(nèi)率先支持AI驅(qū)動(dòng)的晶圓級(jí)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析功能，可基于數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析結(jié)果智能化部署自動(dòng)測試、數(shù)據(jù)校驗(yàn)和復(fù)測，大幅提升研發(fā)過程中的數(shù)據(jù)管理效率和分析深度與廣度，加速從材料探索、器件驗(yàn)證、工藝開發(fā)、芯片設(shè)計(jì)的完整研發(fā)閉環(huán)。
結(jié)論
此次榮膺國芯展“創(chuàng)新成果獎(jiǎng)”，不僅是業(yè)界對(duì)FS800產(chǎn)品實(shí)力的高度認(rèn)可，更彰顯了高端量測技術(shù)在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中的基石價(jià)值。面向未來，概倫電子將持續(xù)深耕核心數(shù)據(jù)獲取技術(shù)和高端量測設(shè)備，深化測試、建模、仿真的協(xié)同創(chuàng)新，以更精準(zhǔn)、更高效、更智能的測試底座，與生態(tài)伙伴一起拓寬技術(shù)新邊界，激發(fā)半導(dǎo)體應(yīng)用新潛力，共同推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向新的發(fā)展階段。
